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微米纳米加工技术全国重点实验室
日期：2023-10-25 阅读：26871
基地名称（中文）：微米纳米加工技术全国重点实验室
基地名称（英文）：National Key Laboratory of Advanced Micro and Nano Manufacture Technology
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微米纳米加工技术全国重点实验室（交大部分）面向国际微纳科技前沿和国家重大战略等需求，开展基于集成电路工艺的微纳加工技术基础及应用基础研究。实验室于1996年批准建设，我国第一个NMOS器件主要完成人沈天慧院士为学术带头人。实验室突破了高深宽比LIGA和准LIGA加工技术、跨尺度泛材料微纳加工技术、多域多维微系统加工与集成、微纳器件规模化加工等关键技术，形成完整的非硅三维微纳加工技术体系，支撑了国内第一条非硅MEMS中试生产线建设。在金属基、陶瓷基、聚合物基等非硅微机电系统（MEMS）和微纳加工及异质异构集成方面形成特色和优势，研制了电磁微马达、柔性电子器件、MEMS脑机接口器件与系统、极端环境智能MEMS传感器、微流控芯片等关键元器件，在国家重大工程等获得应用。先后以第一完成单位获得国家发明二等奖2项。是我国微纳加工与MEMS器件的重要基地之一。
